颗粒物检测

申克博士的 ParticleInspect 专为原片玻璃晶圆和抗反射镀膜玻璃晶圆的高速微尘/颗粒物检测而设计。

对于粉尘、毛发、纤维或粘附的玻璃碎片等最小微粒的高分辨率扫描将确保在发生大规模生产损失之前，识别和处理污染源。

玻璃晶圆的 ParticleInspect 可以清晰地区分 A 侧和 B 侧的微粒，这是申克博士检测独有的优点。